激光剝離(Laser-Lift-Off)作為柔性OLED制程的核心工藝之一，長(cháng)期被韓國設備供應商所壟斷。亞威艾歐斯通過(guò)引進(jìn)技術(shù)再創(chuàng )新，與德國通快公司密切合作，大幅縮短了研發(fā)進(jìn)程，在關(guān)鍵指標和工藝性能方面均達到進(jìn)口設備水平。
 

　　我司DPSS-LLO激光剝離設備的研制成功，標志著(zhù)先進(jìn)激光技術(shù)的應用在國產(chǎn)化進(jìn)程中取得了重要突破。
 

【DPSS激光剝離設備】
 

　　DPSS激光剝離是指通過(guò)固體納秒紫外激光輻照，實(shí)現有機發(fā)光顯示器件(PI膜)與搭載的玻璃基板分離，與傳統的準分子脈沖激光剝離相比，具有能量輸入穩定、生產(chǎn)效率高、不需要定期更換工作氣體等優(yōu)勢。
 

　　據媒體報道Samsung Display其A3線(xiàn)主要采用了DPSS LLO設備，因DPSS技術(shù)較準分子激光器使用和維護成本低，并可以減少設備采購總數量。
 

【激光剝離工藝示意圖】
 

　　亞威艾歐斯激光剝離設備搭載的DPSS激光光學(xué)系統，能量利用率達85%以上。中德韓聯(lián)合研發(fā)的“Z”型折疊光路，將整個(gè)線(xiàn)光斑光學(xué)系統長(cháng)度縮短30%。該系統整形后的線(xiàn)光斑長(cháng)度400-750mm(可調節)、寬度30μm，可同時(shí)應對黃色和透明PI兩種產(chǎn)品的激光剝離工藝，且工藝品質(zhì)及加工效率有大幅度提升。
 

【光路示意圖】
 

【線(xiàn)光斑】
 

【激光剝離柔性顯示屏樣品】
 

　　亞威艾歐斯激光剝離設備，已對國內數家顯示面板廠(chǎng)商提供的樣品進(jìn)行了測試，效果良好，達到客戶(hù)技術(shù)要求。
 

　　隨著(zhù)顯示面板企業(yè)對使用成本和效率要求的不斷提高，導入DPSS激光剝離工藝是大勢所趨，亞威艾歐斯將繼續努力并與客戶(hù)密切協(xié)同，加快實(shí)現量產(chǎn)交付，為柔性OLED制程關(guān)鍵設備的進(jìn)口替代做出貢獻。